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  • 兩聯(lián)三通正.jpg
  • 兩聯(lián)三通側(cè).jpg

兩聯(lián)三通隔膜閥

工作壓力:真空至150psig| 材質(zhì):316L/316L(VIM+VAR) | 工作溫度:-10℃~80℃


產(chǎn)品信息

產(chǎn)品介紹

兩聯(lián)三通隔膜閥,集成式設(shè)計(jì),緊湊型閥體,吹掃效率高,內(nèi)部無螺紋和無彈簧設(shè)計(jì),死體積小清潔度高,膜片式硬密封結(jié)構(gòu),超低漏率;適用于超高純度氣體,半導(dǎo)體用(毒、腐)氣體,滿足超大規(guī)模集成電路的工藝氣體要求。

主要部件材料

閥體                       316L /316L(VIM+VAR) 

膜片                       Ni-Co alloy /UNS R30003

密封墊                   PCTFE 

工作條件

工作壓力                真空至 150psig

爆破壓力                3000psig

流量系數(shù)                0.3

工作溫度                -10~80℃

內(nèi)漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He

外漏率                   ≤1×10-10Pa.m3/sec.He

內(nèi)表面粗糙度         Ra≤0.1μm

產(chǎn)品特點(diǎn)

適合超高純度氣體應(yīng)用

Ni-Co alloy /UNS R30003 材料膜片

快速、可重復(fù)執(zhí)行的氣動執(zhí)行機(jī)構(gòu)

每臺閥門進(jìn)行單獨(dú)的氦質(zhì)譜檢測

超長使用壽命內(nèi)部無螺紋和無彈簧設(shè)計(jì)大幅減少了雜質(zhì)的生成和氣體的卷入

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關(guān)鍵詞:

氣體管閥件


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