QPV（H）高速隔膜閥
工作壓力：真空至145psig｜流量系數(shù)：0.27/0.62｜工作溫度：0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）
類別：
產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹
QPH（H） 系列高速隔膜閥，膜片式硬密封，超低漏率，長壽命，快速響應(yīng)，可選耐高溫；適用于原子層沉積（ALD）系統(tǒng)，主要用于集成電路晶圓生產(chǎn)的環(huán)節(jié)。超高純度氣體，半導(dǎo)體用（毒、腐）氣體。
主要部件材料
閥體 316L （VIM+VAR）
膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003
密封墊 PFA
工作條件
工作壓力 真空至145psig
流量系數(shù) 0.27/0.62
工作溫度 0 ～ 70℃，0 ～200℃（高溫型）
內(nèi)漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
外漏率 ≤1×10-10Pa.m3/sec.He
內(nèi)表面粗糙度 Ra≤0.13μm
產(chǎn)品特點
快速響應(yīng)下的超長使用壽命
耐高溫執(zhí)行器
每臺閥門進行單獨氦質(zhì)譜泄漏測試
可選的模塊化表面安裝、卡套管對焊和UCR® 端接
相關(guān)下載
2024-11-21
獲取報價
我們將在一個工作日內(nèi)與您聯(lián)系。請注意您的手機來電。
相關(guān)產(chǎn)品
中科艾爾
中科艾爾（北京）科技有限公司[原泰科愛爾（北京）科技有限公司]是專業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)氣體管閥件的廠家。
關(guān)于我們
聯(lián)系我們
瀏覽移動端
微信公眾號